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• 上海微系统与信息技术... [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [2]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 CMP专用大粒径纳米二氧化硅研磨料的研究 会议论文  OAI收割 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会, 2006 张楷亮; 王良咏; 宋志棠; 封松林 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2012/01/18 胶体二氧化硅 研磨料 抛光效率 水玻璃 离子交换 分水控制 粒径生长 纳米磨料   CMP纳米抛光液及抛光工艺相关技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 张楷亮   收藏  |  浏览/下载：224/0  |  提交时间：2012/03/06 化学机械抛光  纳米研磨料  硅衬底  Ge-Sb-Te  电化学  湿法刻蚀     防锈油膜在5% Na_2SO_4溶液中的半导体导电行为 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2004, 期号: 05 钟庆东; 郑金; 徐乃欣; 印仁和; 周国定 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 超大规模集成电路  化学机械抛光  纳米研磨料  硅溶胶  大粒径