机构

• 微电子研究所 [2]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2005 [3]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 沉积温度对a-SiNx：H薄膜PL峰的影响 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 8, 页码: 5，1553-1557 作者:  王小波;  董立军;  陈大鹏;  刘渝珍   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/05/26 Lpcvd  纳米硅镶嵌结构  Sinx薄膜  可见荧光   SiH2Cl2-NH3配比对a-SiNx：H薄膜PL峰的影响 期刊论文  OAI收割 发光学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 5，502-506 作者:  董立军;  王小波;  刘渝珍;  奎热西;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/26 纳米硅镶嵌结构 Sinx膜 光致发光 低压化学气相沉积   SiH_2Cl_2-NH_3配比对a-SiN_x∶H薄膜PL峰的影响 期刊论文  OAI收割 发光学报, 2005, 期号: 4, 页码: 502-506 作者:  王小波;  刘渝珍;  奎热西;  董立军;  陈大鹏 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/25 纳米硅镶嵌结构  SiNx膜  光致发光  低压化学气相沉积