机构

• 计算技术研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2008 [1]
• 2003 [1]

学科主题

• 计算机系统结构 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 纳米级工艺对物理设计的影响 期刊论文  OAI收割 信息技术快报, 2008, 卷号: 6, 期号: 2, 页码: 25 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2009/12/18 纳米级工艺  超大规模集成电路  芯片在片波动  物理设计   SAL601负性电子束抗蚀剂纳米级集成电路加工 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 3，167-169 作者:  徐秋霞;  王云翔;  刘明;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/25 Sal601  负性电子束  抗蚀剂  纳米级集成电路  曝光