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浏览/检索结果: 共23条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 绝对式光电轴角编码器测角误差自动检测技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021 作者:  杨金利   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2021/06/11 绝对式光电轴角编码器， 自准直仪， 测角误差自动检测， 步进电机， Stm32   超高精度面形干涉检测技术进展 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 18-30 作者:  侯溪;  张帅;  胡小川;  全海洋;  吴高峰   |  收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2021/05/11 先进光学制造  超精密光学  光学测量  面形检测  干涉检测  绝对检测   光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者:  张璐;  向阳   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差   小型绝对式光电编码器自动检测装置数据采集及控制系统 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  姜铁征   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/09/23 绝对式编码器  精度检测  自动检测  STM32  FPGA   干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  全海洋 收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2017/06/02 光学检测  干涉计量  绝对检测  三平板绝对检测  不确定度评估   全向电动底盘转向角度的检测与控制 期刊论文  OAI收割 长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 2, 页码: 46-50 作者:  朱振华;  郑祥凯;  吕琼莹;  王一凡   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/09/17 全向电动底盘  转向角度  绝对编码器  检测与控制   绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文  OAI收割 机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96 作者:  郑黎明 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/07/06 绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正   基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99 作者:  苏东奇;  田伟;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/07/06 光学检测  绝对检测  干涉术  重力变形  有限元方法  计算仿真   光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院大学, 2014 张艳微 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2015/05/03 干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析