机构

• 沈阳自动化研究所 [3]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2014 [1]
• 2012 [2]
• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文  OAI收割 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794 作者:  张德福;  孙振 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2015/04/17 光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差   基于柔性铰链缩小机构的三维微动平台的研究 会议论文  OAI收割 2012 31th Chinese Control Conference, Hefei, China, July 25-27, 2012 作者:  王帅;  苏刚 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/12/28 缩小机构  三维微动平台  超声波电机  柔性铰链   基于超声波电机的三维微动平台的设计 期刊论文  OAI收割 组合机床与自动化加工技术, 2012, 期号: 11, 页码: 1-3 作者:  王帅 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/21 缩小机构  三维微动平台  超声波电机  柔性铰链   基于柔性位移缩小机构的微夹持器研究 会议论文  OAI收割 第13届中国系统仿真技术及其应用学术年会, 安徽黄山, August 6-11, 2011 作者:  李洪谊;  王帅 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2012/06/06 缩小机构  微夹持器  超声波电机  柔性铰链