机构

• 高能物理研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2009, 期号: 3, 页码: 1526-1530 作者:  朱艳青;  梁静秋;  梁中翥;  黄鑫华;  乐孜纯 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2015/12/25 组合折射透镜  背面曝光  沙漏状  SU-8   利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文) 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2004, 期号: 1, 页码: 26-29 作者:  伊福廷;  缪鹏;  彭良强;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/25 MEMS  SU8胶  微加工  背面曝光