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发表日期
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2017 [1]
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共33条,第1-10条
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NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
期刊论文
OAI收割
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:
李杰[1,2]
;
林妩媚[1]
;
廖志杰[1]
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2021/05/06
光学设计
偏振像差
薄膜光学
Jones光瞳
成像对比度
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:
王一名
;
张超
;
孙秀平
;
匡尚奇
;
杨海贵
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/09/17
薄膜光学
薄膜表征
掠入射X射线反射
云模型量子进化算法
极紫外多层膜
单层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
红外宽光谱分束器及相关技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2011
作者:
于天燕
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/08/22
红外分束器
宽光谱增透膜
宽光谱分束膜
薄膜光学常数
ESR膜及在POLAR探测器中的应用
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2010, 期号: 1, 页码: 98-101
作者:
蒋作宏
;
吴伯冰
;
李延国
;
刘正坤
;
董永伟
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浏览/下载:131/0
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提交时间:2015/12/15
薄膜光学
双折射
反射率
塑料闪烁体
光子收集效率
基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 02, 页码: 602-608
作者:
李玉琼
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/07/19
薄膜光学
薄膜应力
哈特曼-夏克传感器
基片材料
沉积参数
离子辅助沉积
19_5nm极紫外反射镜的研制
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2008, 期号: 3
赵伟
;
袁宏韬
;
缪同群
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/09/25
薄膜光学
极紫外
多层膜
非周期
离子束溅射
同步辐射
吸收杂质热辐射诱导光学薄膜破坏的热力机制
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 4, 页码: 809, 812
魏朝阳
;
贺洪波
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:989/173
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
Absorbing inclusion
吸收杂质
Laser induced damage
激光破坏
Optical elements
热辐射
Thermal irradiation
Thin film optics
4H-SiC基底Al_2O_3/SiO_2双层减反射膜的设计和制备
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 2431, 2435
黄火林
;
张峰
;
吴正云
;
齐红基
;
姚建可
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:1193/189
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
Al2O3/SiO2双层减反射膜
电子束蒸发
4H-SiC基底
折射率
4H-SiC substrate
Al
2
O
3
/SiO
2
double-layer anti-reflection coatings
Deposited layers
Electron beam evaporation
Layer coatings
Layer thicknesses
Physical thicknesses
Reference wavelengths
Reflection spectrums
Scanning electron microscopes
SEM images
Single layers
Thin film optics
UV optoelectronic devices
Wavelength selectivities
LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 1420, 1424
黄涛华
;
周圣明
;
滕浩
;
林辉
;
王军
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提交时间:2009/09/24
薄膜光学
LiGaO
2
半导体材料
Magnetron sputtering
ZnO薄膜
Semiconductor material
磁控溅射
Thin film otpics
LiGaO2
ZnO films
光致发光谱