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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2012 [1]
2008 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导
期刊论文
OAI收割
固体电子学研究与进展, 2012, 期号: 5, 页码: 456-462
刘米丰
;
熊斌
;
徐德辉
;
王跃林
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提交时间:2013/02/22
共面波导
插入损耗
二氟化氙
硅腐蚀
低阻硅衬底
适用于按比例缩小至亚10nm的圆柱体全包围栅场效应管仿真(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2008, 期号: 03
肖德元
;
谢志峰
;
季明华
;
王曦
;
俞跃辉
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提交时间:2012/01/06
电感
π模型
Q值
谐振
衬底损耗