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	扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析期刊论文 OAI收割中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠 \| 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2017/09/17 光栅扫描干涉场曝光系统光束对准收敛性能装调误差
	小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院大学, 2015 作者: 周辉收藏 \| 浏览/下载：101/0 \| 提交时间：2016/04/11 平场凹面光栅光谱仪小型化高分辨率优化设计机械装调误差分析
	博士论文-CSNS漂移管直线加速器的物理设计和研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2008 作者: 彭军收藏 \| 浏览/下载：116/0 \| 提交时间：2015/10/12 CSNS 漂移管直线加速器均温调场质子治癌
	六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳; 田兴志收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2013/03/11 光刻磁悬浮 x-y工件台定位精度步进扫描逐场调平调焦
	0.35μm投影光刻机逐场调焦调平控制技术研究学位论文 OAI收割硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 张津收藏 \| 浏览/下载：125/0 \| 提交时间：2013/11/19 光学光刻逐场调焦调平解耦控制耦合关系控制算法
	高精度逐场调平技术研究学位论文 OAI收割硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999 胡松收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2013/11/19 光学光刻逐场调平多点检焦控制算法套刻步进模型