机构

• 半导体研究所 [2]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [2]
• 1985 [1]

学科主题

• 半导体材料 [2]
• 半导体物理 [1]
• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高Al组分AlGaN材料及紫外LED研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 张硕 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2017/06/05 AlGaN  紫外LED  晶体质量  溅射AlN  侧向外延  金属气相化合物沉积   AlN材料外延技术及其应用研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 杜泽杰 收藏  |  浏览/下载：134/0  |  提交时间：2017/05/27 金属有机化合物气相沉积（MOCVD）  深紫外LED  氮化铝（AlN）  成核层   有机金属化合物化学气相沉积法 期刊论文  OAI收割 功能材料, 1985, 卷号: 16, 期号: 5, 页码: 284-289 李春鸿 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/06/14 有机金属化合物  反应室  化合物半导体  烷基化合物  化学气相沉积法  气相外延  热分解反应  反应物质  新技术