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InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 04
田招兵; 张永刚; 李爱珍; 顾溢
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/01/06