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一种基于非均匀目标的空间相机平场定标方法 期刊论文  OAI收割
光学仪器, 2016, 期号: 1, 页码: 35-40
作者:  
李素文;  岳巾英;  何玲平
  |  收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2017/09/17
用于液晶显示屏幕检测的大口径小角度LED光源设计 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 186-193
作者:  
王尧;  荆雷;  党博石;  孙强;  刘英
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2016/07/06
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167
作者:  
赵阳;  巩岩;  赵阳
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2013/03/11
积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 981, 985
郭立萍; 黄惠杰; 王向朝
收藏  |  浏览/下载:1517/225  |  提交时间:2009/09/24