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机构
电子学研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [2]
学科主题
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共2条,第1-2条
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谐振式微加速度传感器的有限元分析
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 96-100
陈健
;
陈德勇
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
非完全匹配的双端固定音叉
扫描近场光学显微镜光纤探针的制作和音叉探测系统的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
罗继全
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提交时间:2016/11/28
扫描近场光学显微镜
自动腐蚀光纤探针技术
光纤探针
音叉系统
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