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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2000 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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驱动光束不均匀性研究中的硅平面薄膜
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2000, 期号: 02
周斌
;
韩明
;
陆卫昌
;
徐平
;
赖珍荃
;
沈军
;
邓忠生
;
吴广明
;
张勤远
;
陈玲燕
;
王珏
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提交时间:2012/03/29
K1 Si平面薄膜
瑞利-泰勒不稳定性
ICF分解实验
驱动光束不均匀
电容型微差压伺服传感器设计和制作
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000
韩明
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浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2012/03/06
传感器设计:6630
微差压传感器:5763
电容型:4463
伺服:1240
驱动光束不均匀:596
微机械:514
压力传感器:497
主要工艺流程:462
电容式:391
兼容工艺:340