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机构
上海微系统与信息技术... [1]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2000 [1]
1987 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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SOI圆片制备技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 2000
陈猛
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提交时间:2012/03/06
SIMOX制备技术
SOI圆片
高温退火工艺
用正电子湮没技术研究形变对碳氮共渗过程的影响
期刊论文
OAI收割
科学通报, 1987, 期号: 2, 页码: 99-100
作者:
何永枢
;
曹玔
;
顾华
;
王瑞祥
;
谷南驹
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提交时间:2015/12/25
正电子湮没技术
碳氮共渗
化学热处理
热处理工艺
位型
渗层深度
退火态
间隙原子
淬火处理
高温淬火