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长春光学精密机械与物... [8]
上海光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [8]
学位论文 [2]
发表日期
2019 [1]
2017 [1]
2012 [2]
2011 [1]
2008 [2]
2007 [1]
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光栅精密位移测量技术发展综述
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:
高旭
;
李舒航
;
马庆林
;
陈伟
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2020/08/24
位移测量
光栅
高精度测量
衍射干涉
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者:
吕强
;
李文昊
;
巴音贺希格
;
柏杨
;
刘兆武
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2018/04/09
位移测量
光栅
衍射干涉
高精度
高精度绝对式光栅尺研究进展及技术难点
期刊论文
OAI收割
世界制造技术与装备市场, 2012, 期号: 05, 页码: 72-73
作者:
孙强
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/03/11
光栅尺:7210
技术难点:3532
高精度:2538
数控系统:2294
测量原理:2247
摩尔条纹:2241
扫描技术:1929
光栅传感器:1905
位置反馈装置:1836
位置编码:1739
多光束激光并行直写光栅装置
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
曹武刚
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提交时间:2016/11/28
多光束,高精度,光栅,激光直写,伺服聚焦
大型衍射光栅刻划机控制系统研究
期刊论文
OAI收割
中国科学技术大学学报, 2011, 期号: 06, 页码: 560-564
刘栋材
;
申远
;
钟俊
;
齐向东
;
于海利
;
竺长安
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2013/03/11
高精度光栅
机械结构
控制系统
定制负荷
复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析
期刊论文
OAI收割
中国光学与应用光学, 2008, 期号: Z1
作者:
韩旭东
;
续志军
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/09/25
高精度光栅
挠度
厚度
反射式金属光栅在高精度转台上的应用
期刊论文
OAI收割
微计算机信息, 2008, 期号: 31
作者:
续志军
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/09/25
反射式金属光栅
对径数字量相加
高精度转台
可变径球面曲率测量仪器的研制
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
杨中国
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提交时间:2016/11/28
球面曲率
高精度测量
弓高弦长法
精度分析
光栅传感器
莫尔条纹
用圆光栅作分度基准的高精度仪器的故障判断
期刊论文
OAI收割
计量技术, 1997, 期号: 12, 页码: 40-41
杨进堂
;
杨庆辉
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/03/11
圆光栅
分度基准
高精度仪器
故障判断
高精度大光栅盘的研制
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 1983, 期号: 03, 页码: 107-109
邹自强
;
史淑华
;
杨玉生
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/03/11
光栅盘:7518
高精度:3632
自动测量:2550
精度高:2359
测量元件:2020
计量仪器:1946
测角仪:1901
分辨率:1888
使用方便:1441
刻线:1041