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	“8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究学位论文 OAI收割硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才收藏 \| 浏览/下载：99/0 \| 提交时间：2012/03/06 微加速度计 8悬臂梁-质量块微机械加工各向异性腐蚀
	基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械陀螺 x轴音叉式陀螺 “8悬臂梁-质量块”结构限制槽 (111)硅晶圆
	“8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007 王育才收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/03/06 微加速度计 8悬臂梁-质量块微机械加工各向异性腐蚀