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	高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究期刊论文 OAI收割激光技术, 2012, 卷号: 036 作者: 王效顺; 梁勖; 游利兵; 赵家敏; 方晓东 \| 收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2020/11/25 激光器能量稳定比例积分算法高重复频率 ArF准分子激光器
	用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征期刊论文 OAI收割中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27 作者: 邓文渊; 靳京城; 金春水收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2013/03/11 激光器 ArF准分子激光器 CaF2衬底激光量热吸收表面粗糙度光谱术