机构

• 长春应用化学研究所 [2]
• 国家空间科学中心 [1]
• 半导体研究所 [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2021 [1]
• 2018 [1]
• 2011 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]

学科主题

• 半导体物理 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Sub-5 nm Lithography with Single GeV Heavy Ions Using Inorganic Resist 期刊论文  OAI收割 NANO LETTERS, 2021, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 2390-2396 作者:  Liu, Qing;  Zhao, Jing;  Guo, Jinlong;  Wu, Ruqun;  Liu, Wenjing   |  收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2021/12/10 Nanolithography  Heavy Ions  Single-digit Nanometer  Atomic-scale Fabrication  Inorganic Resist   Microfabricated vapor cells with reflective sidewalls for chip scale atomic sensors 期刊论文  OAI收割 Micromachines, 2018, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 175 作者:  Han, Runqi;  You, Zheng;  Zhang, Fan;  Xue, Hongbo;  Ruan, Yong   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2018/06/01 Mems Fabrication  Rubidium Vapor Cells  Reflectance  Linear Absorption Contrast  Coherent Population Trapping (Cpt) Spectroscopy  Chip Scale Atomic Sensors   Highly Reproducible Nanolithography by Dynamic Plough of an Atomic-Force Microscope Tip and Thermal-Annealing Treatment 期刊论文  OAI收割 ieee transactions on nanotechnology, IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY, 2011, 2011, 卷号: 10, 10, 期号: 1, 页码: 53-58, 53-58 作者:  Lu XF   |  收藏  |  浏览/下载：84/7  |  提交时间：2011/07/05 Atomic-force microscope (AFM)  nanolithography  self-switching diodes (SSDs)  2-D electron gas  CONDUCTING POLYMER-FILMS  NANOMETER-SCALE  LITHOGRAPHY  FABRICATION  SURFACES  DEVICES  NANOSTRUCTURES  Atomic-force Microscope (Afm)  Nanolithography  Self-switching Diodes (Ssds)  2-d Electron Gas  Conducting Polymer-films  Nanometer-scale  Lithography  Fabrication  Surfaces  Devices  Nanostructures   Direct patterning of negative nanostructures on self-assembled monolayers of 16-mercaptohexadecanoic acid on Au(111) substrate via dip-pen nanolithography 期刊论文  OAI收割 nanotechnology, 2006, 卷号: 17, 期号: 21, 页码: 5378-5386 Zheng ZK; Yang ML; Liu YQ; Zhang BL 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/08/17 SCANNING PROBE LITHOGRAPHY  ATOMIC-FORCE MICROSCOPE  TUNNELING MICROSCOPE  NANOMETER-SCALE  GOLD  TIP  FABRICATION  SURFACES  NANOFABRICATION  GENERATION   The influence of tip performance on scanning probe lithography 期刊论文  OAI收割 applied surface science, 2004, 卷号: 221, 期号: 1-4, 页码: 402-407 Zhou HL; Li Z; Wu AG; Zheng JP; Zhang J; Wu SF 收藏  |  浏览/下载：163/41  |  提交时间：2010/08/17 DIP-PEN NANOLITHOGRAPHY  ATOMIC-FORCE MICROSCOPE  CONSTRUCTIVE NANOLITHOGRAPHY  ASPECT-RATIO  FABRICATION  MONOLAYERS  TEMPLATES  SILICON  SCALE  FILMS