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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
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2005 [2]
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Strain relaxation mechanism in SiGe-on-insulator fabricated by Ge condensation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2005, 卷号: 281, 期号: 2-4, 页码: 275-280
Di, ZF
;
Huang, AP
;
Chu, PK
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Song, ZT
;
Luo, SH
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
MOBILITY ENHANCEMENT
RAMAN-SCATTERING
HIGH-PERFORMANCE
COMPLIANT OXIDE
N-MOSFETS
OXIDATION
SUBSTRATE
STABILITY
ELECTRON
ISLANDS
Fabrication and mechanism of relaxed SiGe-on-insulator by modified Ge condensation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2005, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 1637-1640
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Luo, SH
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Huang, AP
;
Chu, PK
收藏
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提交时间:2012/03/24
HOLE MOBILITY ENHANCEMENT
STRAINED-SI
OXIDATION BEHAVIOR
HIGH-PERFORMANCE
COMPLIANT OXIDE
N-MOSFETS
GERMANIUM
SUBSTRATE
ELECTRON
ISLANDS