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力学研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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CMP流场的数值模拟及离心力影响分析
期刊论文
OAI收割
力学学报, 2008, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 729-734
作者:
高太元
;
李明军
;
胡利民
;
高智
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浏览/下载:1762/93
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提交时间:2010/05/03
化学机械抛光
离心力
润滑方程
压力分布
Chebyshev加速超松弛技术
CMP润滑方程的Chebyshev加速超松弛法求解
期刊论文
OAI收割
自然科学进展, 2007, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1724-1728
作者:
高太元
;
李明军
;
高智
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浏览/下载:2006/222
  |  
提交时间:2010/05/03
化学机械抛光
润滑方程
压力分布模型
Chebyshev加速超松弛技术