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力学研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型
会议论文
OAI收割
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者:
李帅辉
;
樊菁
;
舒勇华
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2014/01/23
电子束物理气相沉积(EBPVD)
非平衡蒸气粒子输运模型
自由分子流假设失效判据
金属蒸气粒子VHS
模型参数
直接模拟Monte
Carlo(DSMC)方法
大面积均匀薄膜制备工艺
A Breakdown Criterion of Free Molecular Flows and an Optimum Analysis of EBPVD
会议论文
OAI收割
26th International Symposium on Rarefied Gas Dynmaics (RGD26), Kyoto, JAPAN, JUN 20-JUL 25, 2008
作者:
Li SH(李帅辉)
;
Fan J(樊菁)
;
Shu YH(舒勇华)
;
Li SH
收藏
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浏览/下载:1136/86
  |  
提交时间:2009/07/23
Free Molecular Assumption
Breakdown Criterion
Optimization
Thin Film
Ebpvd
Physical Vapor-Deposition
Yttrium