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ECR等离子体的轫致辐射谱和极紫外光研究
学位论文
OAI收割
2008
赵环昱
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提交时间:2010/01/24
Ecr等离子体
用于光刻的EUV光源
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16
赵环昱
;
赵红卫
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/10/29
光刻
极紫外光源
放电等离子
激光等离子体
Ecr等离子体
ECR离子源束流发射度的实验研究(英文)
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2005, 卷号: 2005, 期号: 12, 页码: 63-68
孙良亭,曹云,冯玉成,李锦钰,赵红卫,张子民,王辉,马宝华,何伟,赵环昱,郭晓虹
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提交时间:2010/10/29
Ecr离子源
发射度
Ecr等离子体
射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量
期刊论文
OAI收割
核聚变与等离子体物理, 2004, 卷号: 024
-
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提交时间:2020/10/26
射频偏置
ECR-PECVD
双探针
电子温度
等离子体密度
微波功率
磁场电流
利用栅网控制空间等离子体环境效应模拟中的等离子体参数
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2002, 卷号: 22, 期号: 2, 页码: 142-146
庞永江
;
徐跃民
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提交时间:2014/04/30
空间等离子体模拟
ECR
栅网控制
地面模拟环境
环境效应
等离子体参数
Atomic-Oxygen Beam Source with Compact ECR Plasma
期刊论文
OAI收割
等离子体科学和技术:英文版, 2002, 卷号: 004
作者:
Ren Zhaoxing
;
Shen Keming
;
Lu Qingao
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2020/10/26
原子氧
等离子体源
等离子体束
ECR
电子回旋加速器
产生
稳定性
2.45GHz单电荷态电子回旋共振离子源
期刊论文
OAI收割
核技术, 2001, 卷号: 2001, 期号: 01, 页码: 43-46
丁俊章,赵玉彬,刘占稳,赵红卫,袁平,曹云,雷海亮,张子民,张雪珍,张汶,郭晓虹,王辉,冯玉成,李锦玉,马保华,高级元,宋沛,李锡霞
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提交时间:2010/10/29
Ecr离子源
微波
等离子体频率
永磁体
地面实验室模拟空间等离子体环境的初步测试
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2001, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 259-265
庞永江
;
徐跃民
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2014/04/30
空间等离子体环境
ECR
等离子体源
地面实验室
模拟
航天器
地面试验
2.45GHzECR离子源及ECR离子源的磁场设计和计算
学位论文
OAI收割
: 中科院近代物理研究所, 2000
丁俊章
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提交时间:2010/11/04
Ecr离子源 束流强度 微波 等离子体