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Two-frame advanced iterative self-tuning algorithm for accurate phase retrieval
期刊论文
OAI收割
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2023, 卷号: 169
作者:
He, Zhouxuan
;
Du, Hubing
;
Gu, Feifei
;
Hu, Bingqing
;
Wang, Feng
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2023/08/18
Phase shift
Interferometry
Phase retrieval
Fringe analysis
Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm
期刊论文
OAI收割
Optics Communications, 2019, 卷号: 433, 页码: 52-59
作者:
J.Yu
;
F.Zhou
;
H.Wang
;
Y.Xie
;
H.T.Zhang
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2020/08/24
Fringe analysis,Phase shifting interferometry,Spectrum analysis,Optics
Model-based multi-fringe interferometry using Zernike polynomials
期刊论文
OAI收割
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2018, 卷号: 105, 页码: 198-200
作者:
Gu, Wei
;
Song, Weihong
;
Wu, Gaofeng
;
Quan, Haiyang
;
Wu, Yongqian
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2019/08/23
Fringe analysis
Interferometry
Phase measurement
Dual-Channel Light Intensity Modulation Method for Focusing in Projection Lithography
期刊论文
OAI收割
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2016, 卷号: 8, 期号: 1
作者:
Li, Yanli
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Feng, JinHua
;
Wang, Jian
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/06/27
Focusing
gratings
lithography
fringe analysis
Fast temporal phase unwrapping method for the fringe reflection technique based on the orthogonal grid fringes
期刊论文
OAI收割
Applied Optics, 2015, 卷号: 54, 期号: 20, 页码: 6282-6290
作者:
BO LI
;
SUODONG MA
;
YANG ZHAI
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/01/22
Fringe analysis
Surface measurements
figure
A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography
期刊论文
OAI收割
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4
作者:
Di, Chengliang
;
Yan, Wei
;
Hu, Song
;
Li, Yanli
;
Yin, Didi
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2015/07/10
Moire fringes
focusing and leveling
fringe analysis
lithography
Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography
期刊论文
OAI收割
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3
作者:
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2015/07/10
Interferometry
metrology
fringe analysis
phase unwrapping
lithography
The leveling of mask and wafer in proximity nanolithography using fringe pattern phase analysis
期刊论文
OAI收割
OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3176-3180
作者:
Xu, Feng
;
Zhou, Shaolin
;
Hu, Song
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2015/07/10
Nanolithography
Leveling
Fringe pattern analysis
Phase extraction
Experimental analysis and improvement on camera calibration pattern
期刊论文
OAI收割
OPTICAL ENGINEERING, 2014, 卷号: 53, 期号: 1
作者:
Li, Lulu
;
Zhao, Wenchuan
;
Wu, Fan
;
Liu, Yong
;
Gu, Wei
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2015/07/10
calibration pattern
characteristic point extraction
fringe analysis
Fourier transform
phase shifting
Three-dimensional surface reconstruction based on a novel phase-unwrapping algorithm
会议论文
OAI收割
International Symposium on Optoelectronic Technology and Application 2014, Beijing, China, May 13-15, 2014
作者:
Liu CL(刘陈龙)
;
Zhu D(朱丹)
;
Tong XX(佟新鑫)
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2014/12/29
Phase shifting
Phase unwrapping
Fringe pattern analysis
Structure light
Three-dimensional (3-D) surface reconstruction