机构

• 物理研究所 [1]
• 化学研究所 [1]
• 大连化学物理研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2008 [2]
• 2007 [1]
• 2001 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Electron beam lithography of HSQ/PMMA bilayer resists for negative tone lift-off process 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 5-6, 页码: 814 Yang, HF; Jin, AZ; Luo, Q; Li, JJ; Gu, CZ; Cui, Z 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2013/09/17 HYDROGEN SILSESQUIOXANE  CONTRAST  STACK   HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）  电子束曝光技术  抗蚀剂工艺  邻近效应   Organo-bridged silsesquioxane titanates for heterogeneous catalytic epoxidation with aqueous hydrogen peroxide 期刊论文  OAI收割 journal of catalysis, 2007, 卷号: 251, 期号: 2, 页码: 453-458 作者:  Wang, Yi Meng;  Magusin, Pieter C. M. M.;  van Santen, Rutger A.;  Abbenhuis, Hendrikus C. L. 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2015/11/11 organosilica support  titanate  silsesquioxane  epoxidation  aqueous  hydrogen peroxide  nonporous   Synthesis and characterization of oligomeric silsesquioxane with pendent carboxylic acid groups 期刊论文  OAI收割 EUROPEAN POLYMER JOURNAL, 2001, 卷号: 37, 期号: 12, 页码: 2397-2405 作者:  Xu, H;  Xie, P;  Zhang, RB   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/04/09 Oligomeric Silsesquioxane  Carboxylic Acid  Preaminolysis  Hydrogen-bonded Network