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机构
金属研究所 [2]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2011 [1]
2005 [2]
学科主题
Materials ... [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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Spectroscopic ellipsometry and positron annihilation investigation of sputtered HfO2 films
期刊论文
OAI收割
THIN SOLID FILMS, 2011, 卷号: 519, 期号: 19, 页码: 6349-6353
作者:
Ma, ZW
;
Liu, LX
;
Xie, YZ
;
Su, YR
;
Zhao, HT
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/06/29
Hafnium dioxide
Spectroscopic ellipsometry
Positron annihilation spectroscopy
Open volume defects
Sputtering
Pulsed laser deposition of aluminate YAlO3 and LaAlO3 thin films for alternative gate dielectric applications
期刊论文
OAI收割
Applied Physics a-Materials Science & Processing, 2005, 卷号: 80, 期号: 8, 页码: 1775-1779
J. M. Liu
;
G. H. Shi
;
L. C. Yu
;
T. L. Li
;
Z. G. Liu
;
J. Y. Dai
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/05/17
hafnium oxide
si
stability
silicon
transition
dioxide
devices
hfo2
Pulsed laser deposition of aluminate YAlO3 and LaAlO3 thin films for alternative gate dielectric applications
期刊论文
OAI收割
Applied Physics a-Materials Science & Processing, 2005, 卷号: 80, 期号: 8, 页码: 1775-1779
J. M. Liu
;
G. H. Shi
;
L. C. Yu
;
T. L. Li
;
Z. G. Liu
;
J. Y. Dai
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/04/14
hafnium oxide
si
stability
silicon
transition
dioxide
devices
hfo2