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	镀膜过程真空室气氛分布研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 郑如玺收藏 \| 浏览/下载：53/0 \| 提交时间：2016/11/28 HfO2薄膜充氧口位置 k-ε模型数值模拟蒸发分布
	单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究期刊论文 OAI收割光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140 作者: 艾万君; 熊胜明收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2016/11/21 电子束蒸发离子束辅助沉积离子束反应溅射 HfO2薄膜薄膜特性
	HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响期刊论文 OAI收割 Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224 袁景梅; 齐红基; 赵元安; 范正修; 邵建达收藏 \| 浏览/下载：1135/161 \| 提交时间：2009/09/22 光学薄膜 Glow discharge mass spectrum 紫外膜 Ultraviolet multilayer ZrO2 HfO2 光学性能
	薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响期刊论文 OAI收割稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达收藏 \| 浏览/下载：1101/176 \| 提交时间：2009/09/22 HfO2薄膜 HfO2 thin film 残余应力 residual stress 膜厚 thin film thickness 电子束蒸发 electron beam evaporation
	沉积温度对电子束蒸发HfO2薄膜残余应力的影响期刊论文 OAI收割中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 827, 831 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修收藏 \| 浏览/下载：725/114 \| 提交时间：2009/09/22 薄膜 HfO2薄膜残余应力沉积温度基底电子束蒸发
	沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响期刊论文 OAI收割强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达收藏 \| 浏览/下载：566/107 \| 提交时间：2009/09/22 HfO2薄膜 HfO₂ films 残余应力 Residual stress 沉积温度 Deposition temperature 微结构 Microstructure X射线衍射 XRD