机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2012 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• Chemistry;... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 The structure and electrical properties of HfTaON high-k films prepared by DIBSD 期刊论文  OAI收割 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 7, 页码: 2953-2958 Yu, T; Jin, CG; Yang, XM; Dong, YJ; Zhang, HY; Zhuge, LJ; Wu, XM; Wu, ZF 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/04/17 HfTaON  XPS  TEM  FTIR  Crystallization temperature  Electrical characteristic   先进的Hf基高k栅介质研究进展 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2007, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 5,1194_1199 作者:  徐秋霞;  许高博   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26 高介电常数  Hfo2  Hfon  Hfsion Hftaon