机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2017 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81" 作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪   |  收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/08/17 Hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线   HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）  电子束曝光技术  抗蚀剂工艺  邻近效应