机构

• 微电子研究所 [2]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2009 [2]
• 2000 [1]

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  宁锦华   |  收藏  |   硅深槽ICP刻蚀中刻蚀条件对形貌的影响 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2009, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 4，729-732 作者:  万里兮;  吕垚;  李宝霞   |  收藏  |   GaAs的ICP选择刻蚀研究 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 4，174-177 作者:  刘训春;  王惟林   |  收藏  |