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Incidence Angle Effects on the Fabrication of Microstructures Using Six-Beam Laser Interference Lithography
期刊论文
OAI收割
COATINGS, 2021, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 7
作者:
Jia, Tianxu
;
Wang, Xiangxian
;
Ren, Yaqian
;
Su, Yingwen
;
Zhang, Liping
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提交时间:2021/12/10
laser interference lithography
microstructure
incidence angle
Piecewise Linear Weighted Iterative Algorithm for Beam Alignment in Scanning Beam Interference Lithography
期刊论文
OAI收割
Photonic Sensors, 2019, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 344-355
作者:
Y.Song
;
Bayanheshig
;
S.Li
;
S.Jiang
;
W.Wang
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2020/08/24
Piecewise linear weighted iterative algorithm,beam alignment,scanning,beam interference lithography (SBIL),overshoot suppression,convergence,speed,femtosecond laser,fabrication,gratings,crystal,system,Instruments & Instrumentation,Optics
Fabrication of 2-inch nano patterned sapphire substrate with high uniformity by two-beam laser interference lithography
期刊论文
OAI收割
NANOPHOTONICS AND MICRO/NANO OPTICS II, 2014, 卷号: 9277
Dai, LG
;
Yang, F
;
Yue, G
;
Jiang, Y
;
Jia, HQ
;
Wang, WX
;
Chen, H
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2015/04/14
Laser interference lithography
nano-scale patterned sapphire substrate
large area
high uniformity
A simple and efficient method for preparing silicon nanopit arrays
期刊论文
OAI收割
ACTA PHYSICA SINICA, 2013, 卷号: 62, 期号: 15
Dai, LG
;
Xuan, MD
;
Ding, P
;
Jia, HQ
;
Zhou, JM
;
Chen, H
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2014/01/16
laser interference lithography
nanoarrays
etching
fluorocarbon organic polymer
Design, Fabrication and Test of a Soft X-Ray Even-Order Transmission Grating
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Chen, BQ
;
Xie, CQ
;
Ma, J
;
Ye, TC
;
Liu, M
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/26
2-dimensional Photonic Crystals
Laser-produced Plasmas
Interference Lithography
Holographic Lithography
Spectrometer
Spectra
Capella
Soho
Ag dots array fabricated using laser interference technique for biosensing
期刊论文
OAI收割
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2008, 卷号: 134, 期号: 2, 页码: 940-944
作者:
Li, Haiying
;
Luo, Xiangang
;
Du, Chunlei
;
Chen, Xunan
;
Fu, Yongqi
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提交时间:2015/09/21
LSPR
Laser interference lithography
Etching
Biosensing