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Nanometer-Resolution 4-Probe Laser Interferometric Displacement Sensor Performance Evaluation: Principles and Operations 期刊论文  OAI收割
IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT, 2025, 卷号: 74, 页码: 10
作者:  Sang, Qi;  Wen, Yumei;  He JW(贺建武);  Gong, Shaoliang;  Li, Ping
  |  收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2025/05/19