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机构
上海微系统与信息技术... [7]
长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [2]
发表日期
2014 [1]
2012 [1]
2008 [2]
2004 [3]
2003 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共9条,第1-9条
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现代军用MEMS惯性传感器技术进展
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2014, 期号: 8, 页码: 42101
李红光
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提交时间:2015/04/17
微电子机械系统
惯性传感器
MEMS陀螺
MEMS加速计
MEMS惯性测量仪
小型惯性测量仪
集成光波导陀螺
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
;
车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
收藏
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
HEV用MH/Ni电池管理系统
期刊论文
OAI收割
电池, 2008, 期号: 01
朱玲
;
夏保佳
;
娄豫皖
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS加速度计
Verilog-A模型
寄生电容
热机械噪声
基于MEMS的光纤加速度计的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
曾凡林
收藏
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浏览/下载:204/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
光纤加速度计
双光纤准直器
敏感芯片
噪声
基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2004, 期号: 10
冯飞
;
焦继伟
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/01/06
高量程MEMS加速度计
胶粘工艺
圆片级封装
MC-CDMA系统迭代检测中的一种信道估计算法
期刊论文
OAI收割
电路与系统学报, 2004, 期号: 05
王鹏
;
姜华
;
刘海涛
;
杨根庆
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
高量程加速度计
灌封
有限元分析
MEMS
高量程MEMS加速度计封装研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
蒋玉齐
收藏
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浏览/下载:58/0
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提交时间:2012/03/06
高量程MEMS加速度计
圆片级封装
模态分析
响应分析
BCB
MEMS和微流体分析系统的发展
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:
吴一辉
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/03/11
MEMS技术:6304
微型全分析系统:4765
微流体:4334
压力传感器:2159
分析仪器:1871
加速度计:1775
流体分析:1530
微制造技术:1371
微小化:1291
仪器仪表:1244
曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计
期刊论文
OAI收割
机械强度, 2003, 期号: 02
董健
;
李昕欣
;
王跃林
;
张鲲
;
宋朝晖
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/01/06
高量程MEMS加速度计
灌封
弹性模量
有限元分析