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	微悬臂梁生化传感器系统集成与检测学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 廖驹收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2016/06/03 MEMS生化传感器微悬臂梁频率检测微流体控制传感器系统
	MEMS谐振器的并联电容噪声抑制期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器质量传感器生化检测电容补偿频率噪声
	微阵列光寻址生化传感器系统性能研究期刊论文 OAI收割电子与信息学报, 2003, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 835-837 韩泾鸿，梁卫国，张虹，陈德勇，徐磊收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2010/09/02 光寻址电位传感器(LAPS) 微电子机械系统(MEMS) 生化传感器