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机构
兰州化学物理研究所 [3]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2014 [1]
2013 [1]
2012 [2]
学科主题
材料科学与物理化学 [2]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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Microstructure and property changes induced by substrate rotation in titanium/silicon dual-doped a-C:H films deposited by mid-frequency magnetron sputtering
期刊论文
OAI收割
Surface and Coatings Technology, 2014, 卷号: 240, 页码: 419-424
作者:
Jiang JL(姜金龙)
;
Wang Q(王琼)
;
Huang H(黄浩)
;
Wang YB(王玉宝)
;
Zhang X(张霞)
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2014/12/17
a-C:H films
MF magnetron sputtering
Substrate rotation
Microstructure and property
钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 456-462
作者:
姜金龙
;
黄浩
;
陈娣
;
王琼
;
冯旺军
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2014/01/02
类金刚石薄膜
多元掺杂
中频磁控溅射
气氛环境
摩擦学性能
diamond-like carbon film
multi-elements doping
MF magnetron sputtering
atmosphere environment
tribological property
Synthesis and characterization of quaternary Ti-Si-C-N film deposited by middle frequency magnetron sputtering
期刊论文
OAI收割
Advanced Materials Research, 2012, 卷号: 581-582, 页码: 540-543
作者:
Jiang JL(姜金龙)
;
Chen D(陈娣)
;
Zhu WJ(朱伟君)
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2013/07/12
Ti-Si-C-N films
microstructure
MF magnetron sputtering
Influence of an External Magnetic Field on the Growth of Nanocrystalline Silicon Films Grown by MF Magnetron Sputtering
期刊论文
OAI收割
Journal of Materials Science & Technology, 2012, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 992-998
J. H. Gao
;
L. Zhang
;
J. Q. Xiao
;
J. Gong
;
C. Sun
;
L. S. Wen
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/02/05
Nanocrystalline silicon
Thin film
Solenoid coil
MF magnetron
sputtering
chemical-vapor-deposition
amorphous-silicon
thin-films
microstructure
temperature
fabrication
density
si