机构

• 苏州纳米技术与纳米仿... [1]
• 光电技术研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2015 [1]
• 2011 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 MEMS-based filter integrating tunable Fabry–Perot cavity and grating 期刊论文  OAI收割 Optics Communications, 2017, 卷号: 402, 页码: 472-477 作者:  Shi, Zhendong;  Fang, Liang;  Zhong, Libo   |  收藏  |   Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient 期刊论文  OAI收割 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4 作者:  Miao, J(苗静);  Shen, WJ(沈文江);  He, CD;  Xue, CY;  Xiong, JJ 收藏  |   Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter 期刊论文  OAI收割 key engineering materials, 2011, 卷号: 483, 页码: 112-116 Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Han, Guowei; Si, Chaowei 收藏  |