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力学研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2007 [2]
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共2条,第1-2条
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Snap-through and pull-in instabilities of an arch-shaped beam under an electrostatic loading
期刊论文
OAI收割
Journal of Microelectromechanical Systems, 2007, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 684-693
作者:
Zhang Y(张吟)
;
Wang YS
;
Li ZH
;
Huang YB
;
Li DC
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提交时间:2009/08/03
Actuators
Beams
Electrostatic Analysis
Modeling
Micromachined Beams
Shallow Arches
Bistable Mems
Microactuator
Parameters
Actuators
Stability
Model
Deflections and curvatures of a film-substrate structure with the presence of gradient stress in MEMS applications
期刊论文
OAI收割
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 753-762
作者:
Zhang Y(张吟)
收藏
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浏览/下载:733/61
  |  
提交时间:2009/08/03
Thin-Films
Micromachined Beams
Residual-Stress
Cantilever Beam
Stoney Formula
Surface Stress
Strain
Bilayer
Systems
Model