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光电技术研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2018 [1]
2015 [1]
2014 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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Dynamic patterns based on the superposition of micropattern array and microlens array
期刊论文
OAI收割
OPTIK, 2018, 卷号: 174, 页码: 244-251
作者:
Huang, Peng
;
He, Chuanwang
;
Fan, Bin
;
Dong, Xiaochun
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提交时间:2019/08/23
Moire techniques
Dynamic
Microlens Array
Pattern
Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography
期刊论文
OAI收割
OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
You, Zhisheng
;
Su, Xianyu
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2015/07/10
lithography
alignment
Moire techniques
Experimental study of Talbot imaging moire-based lithography alignment method
期刊论文
OAI收割
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2014, 卷号: 58, 页码: 54-59
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Zhou, Pei
;
Yu, Junsheng
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2015/07/10
Alignment
Moire techniques
Gratings
Talbot and self-imaging effects