中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
上海光学精密机械研究... [2]
沈阳自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2020 [1]
2006 [2]
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
Dynamic fabrication of microfluidic systems for particles separation based on optical projection lithography
期刊论文
OAI收割
Biomedical Microdevices, 2020, 卷号: 22, 期号: 4, 页码: 1-7
作者:
Sun LJ(孙路静)
;
Yang WG(杨文广)
;
Chu HH(褚洪汇)
;
Yang, Rendi
;
Yu HB(于海波)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2020/11/28
Particles separation
Microfluidic technology
Optical projection lithography
Coma measurement using a PSM and transmission image sensor
期刊论文
OAI收割
optik, 2006, 卷号: 117, 期号: 1, 页码: 21, 25
Wang F
;
Wang XZ
;
马明英
;
Zhang DQ
;
Shi WJ
;
Hu HM
收藏
  |  
浏览/下载:1758/343
  |  
提交时间:2009/09/18
optical lithography
aberrations
projection lens
image quality
Zernike coefficients
A novel method to measure coma aberration of projection system
期刊论文
OAI收割
optik, 2006, 卷号: 117, 期号: 11, 页码: 532, 536
马明英
;
王向朝
;
Wang Fan
收藏
  |  
浏览/下载:1401/356
  |  
提交时间:2009/09/18
optical lithography
projection system
pattern displacement
coma aberration
zernike coefficients