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金属研究所 [1]
近代物理研究所 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2021 [1]
2005 [1]
1987 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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Design of low-friction and anti-corrosion a-C:H:SiOx films
期刊论文
OAI收割
Diamond & Related Mate, 2021, 期号: 118, 页码: 108512
作者:
Pingmei Yin
;
Xubing Wei
;
Lunlin Shang
;
Zhibin Lu
;
Guangan Zhang
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2021/12/03
PACVD
a-C:H:SiOx film
Low-friction
Anti-corrosion
Open air deposition of SiO2 films by an atmospheric pressure line-shaped plasma
期刊论文
OAI收割
PLASMA PROCESSES AND POLYMERS, 2005, 卷号: 2, 页码: 407-413
作者:
Zhu, XD
;
Arefi-Khonsari, F
;
Petit-Etienne, C
;
Tatoulian, M
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/05/31
atmospheric pressure
filamentary discharges
hexamethyldisiloxane (HMDSO)
plasma-assisted chemical vapor deposition (PACVD)
silicon oxide
等离子体科学技术应用专题系列介绍 第八讲 气体放电等离子体在薄膜技术上的应用
期刊论文
OAI收割
物理, 1987, 期号: 3, 页码: 157-160
闻立时
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/04/12
气体放电等离子体:7619
薄膜技术:3488
PACVD:3188
离子镀:2433
溅射:1853
气相沉积:1770
沉积温度:1548
科学技术:1478
体表面:1197
粒子:1044