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	柔性透明薄膜掺杂微纳米粒子的光谱特性研究期刊论文 OAI收割机电工程技术, 2020, 卷号: 49, 期号: 05, 页码: 5-7+117 作者: 黄美娇 \| 收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2021/07/06 PDMS薄膜微纳米粒子光谱特性米氏散射理论蒙特卡洛方法
	基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 肖素艳收藏 \| 浏览/下载：123/0 \| 提交时间：2012/03/06 柔性MEMS技术聚酰亚胺（PI）聚二甲基硅氧烷（PDMS）铂薄膜电阻温度传感器触觉力传感器
	PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58 作者: 张平; 王淑荣; 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2013/03/11 微泵 PDMS薄膜 NdFeB薄片电磁驱动