机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [2]

学科主题

• 光电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Fabrication of high-efficiency ultraviolet blazed gratings by use of direct Ar2-CHF3 ion-beam etching through a rectangular photoresist mask (EI CONFERENCE) 会议论文  OAI收割 International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2011: Sensor and Micromachined Optical Device Technologies, May 24, 2011 - May 26, 2011, Beijing, China Tan X. 收藏  |   Fabrication of biomimic GaAs subwavelength grating structures for broadband and angular-independent antireflection 期刊论文  OAI收割 microelectronic engineering, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 2889-2893 Chen X; Fan ZC; Xu Y; Song GF; Chen LH 收藏  |