机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 烟台海岸带研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2015 [1]
• 2008 [3]

学科主题

• Engineerin... [2]
• Chemistry,... [1]
• Engineerin... [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Design, Simulation and Fabrication of Triaxial MEMS High Shock Accelerometer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 2952-2957 作者:  Xie, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2015/07/30 MEMS Accelerometer  Three-Axis  High g  Piezoresistive  Sense Element   Single-Wafer-Processed Self-Testable High-g Accelerometers With Both Sensing and Actuating Elements Integrated on Trench-Sidewall 期刊论文  OAI收割 IEEE SENSORS JOURNAL, 2008, 卷号: 8, 期号: 11-12, 页码: 1992-1999 Li, XX; Gui, L; Wang, YL; Yang, H 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2011/12/17 PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER  SILICON ACCELEROMETER  RANGE   A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004 Sun, LN; Wang, JC; Rong, WB; Li, XX; Bao, HF 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2011/12/17 COMB-DRIVE ACTUATORS  PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER  DATA-STORAGE   A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004 Sun, LN; Wang, JC; Rong, WB; Li, XX; Bao, HF 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/12/17 COMB-DRIVE ACTUATORS  PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER  DATA-STORAGE