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红外探测材料与器件 [1]
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共8条,第1-8条
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A new method to calibrate residual ionospheric error of GNSS RO bending angle
期刊论文
OAI收割
GPS SOLUTIONS, 2022, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 12
作者:
Li, Mingzhe
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提交时间:2022/07/06
Global Navigation Satellite System (GNSS)
Radio occultation (RO)
Residual ionospheric error (RIE)
Data assimilation electron density
Ray-tracing technique
ANALYSING SEASONAL CHARACTERISTICS OF RESIDUAL IONOSPHERIC ERRORS IN BENDING ANGLES BASED ON ENSEMBLES OF PROFILES FROM END-TO-END SIMULATIONS
会议论文
OAI收割
Valencia, SPAIN, JUL 22-27, 2018
作者:
Liu, Congliang
;
Kirchengast, Gottfried
;
Sun, Yueqiang
;
Du, Qifei
;
Bai, Weihua
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提交时间:2019/01/31
residual ionopheric error (RIE)
bending angle
seasonal characteristics
GNSS RO
STUDY OF BENDING ANGLE RESIDUAL IONOSPHRIC ERROR IN REAL RO DATA
会议论文
OAI收割
36th IEEE International Geoscience and Remote Sensing Symposium (IGARSS), Beijing, PEOPLES R CHINA, JUL 10-15, 2016
作者:
Liu, Congliang
;
Kirchengast, Gottfried
;
Sun, Yueqiang
;
Bai, Weihua
;
Du, Qifei
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提交时间:2017/04/07
residual ionopheric error (RIE)
bending angle
GNSS
RO
Tunable periodic graphene antidot lattices fabricated by e-beam lithography and oxygen ion etching
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2014, 卷号: 105, 页码: 21
Liu, LZ
;
Tian, SB
;
Long, YZ
;
Li, WX
;
Yang, HF
;
Li, JJ
;
Gu, CZ
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提交时间:2015/04/14
Patterning graphene
Antidot lattices
EBL
RIE
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
Fabrication of 3232 polymer arrayed waveguide gratings using remelting technique (EI CONFERENCE)
会议论文
OAI收割
ICO20: Optical Communication, August 21, 2005 - August 26, 2005, Changshun, China
作者:
Zhang D.
;
Zhang X.
;
Zhang X.
;
Zhang X.
;
Wang F.
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提交时间:2013/03/25
A 32 32 arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer operating around the 1550 nm wavelength has been designed and fabricated using fluorinated poly (ether ether ketone). The schematic layout is about 3.21.7 cm 2. For our AWG
the total loss of designed AWG multiplexer is calculated to be 4.5 dB. We fabricated the AWG multiplexer by spin coating
photolithographic patterning and reactive ion etching (RIE). The core size is 55 m2. The roughness of polymer surface was reduced by 20 nm using a remelting technique. The measured wavelength channel spacing of the fabricated AWG multiplexer is 0.796 nm and center wavelength is 1548 nm. The inserting loss of the AWG is 9.5 dB and crosstalk less than -20 dB.
聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 196-199
曾欢欢,赵湛,王奇,方震,张博军
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提交时间:2010/09/02
湿度传感器 聚酰亚胺(PI) 电容式 反应离子刻蚀(RIE) 边缘效应
抗体G蛋白火箭电泳(RIE)测定的影响因素研究
期刊论文
OAI收割
上海免疫学杂志, 1982, 期号: 06, 页码: 27-28
作者:
瞿志祥
;
蔡秉良
;
黄龙琴
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提交时间:2019/01/08
抗体
火箭电泳
RIE