机构

• 上海微系统与信息技术... [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2008 [1]
• 2006 [2]

学科主题

• Engineerin... [2]
• Engineerin... [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Single-Wafer-Processed Self-Testable High-g Accelerometers With Both Sensing and Actuating Elements Integrated on Trench-Sidewall 期刊论文  OAI收割 IEEE SENSORS JOURNAL, 2008, 卷号: 8, 期号: 11-12, 页码: 1992-1999 Li, XX; Gui, L; Wang, YL; Yang, H 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2011/12/17 PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER  SILICON ACCELEROMETER  RANGE   Single-water-processed trench-sidewall integration and its application in a micro resonant detector for vacuum monitoring 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2006, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 16-19 Li, XX; Xu, W; Chen, Y; Luo, L; Gu, L; Liu, M; Cheng, BL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2011/12/17 SILICON  ACCELEROMETER   Single-water-processed trench-sidewall integration and its application in a micro resonant detector for vacuum monitoring 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2006, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 16-19 Li,XX; Xu,W; Chen,Y; Luo,L; Gu,L; Liu,M; Cheng,BL; Wang,YL 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/12/17 SILICON  ACCELEROMETER