机构

• 上海微系统与信息技术... [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [1]
• 2004 [1]

学科主题

• Chemistry,... [1]
• Engineerin... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 AIN thin films fabricated by ultra-high vacuum electron-beam evaporation with ammonia for silicon-on-insulator application 期刊论文  OAI收割 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2005, 卷号: 239, 期号: 3-4, 页码: 327-334 Zhu, M; Chen, P; Fu, RKY; Liu, WL; Lin, CL; Chu, PK 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/24 EPITAXIAL-GROWTH  ALUMINUM NITRIDE  SMART-CUT(R) PROCESS  SI(111)  DEPOSITION  SAPPHIRE  SI   Format ion of silicon on plasma synthesized aluminum nitride structure by ion cutting 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2004, 卷号: 22, 期号: 6, 页码: 2748-2753 Zhu, M; Chen, P; Fu, RKY; Liu, WL; Lin, CL; Chu, PK 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/24 SMART-CUT(R) PROCESS  IMPLANTATION  FILMS  INSULATOR  TECHNOLOGY  DIAMOND  FABRICATION  DEPOSITION  NITROGEN  SI