机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2003 [1]
• 2000 [1]

学科主题

• Sensor [1]
• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 提高MEMS电磁式振动环陀螺性能的方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 刘吉利 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2014/06/12 振动环式陀螺  SOI圆片  频差调整   氧氮共注SOI材料结构与注氮剂量研究 会议论文  OAI收割 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 张恩霞; 易万兵; 陈孟; 张正选; 王曦; 张国强; 刘忠立; 范凯; 李宁 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 注氮剂量 氧氮共注 SIMON圆片   SOI圆片制备技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 2000 陈猛 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/03/06 SIMOX制备技术  SOI圆片  高温退火工艺