机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2010 [1]
• 2002 [1]

学科主题

• Applied [1]
• Electrical... [1]
• Engineerin... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Characterization and analysis of silicon on insulator fabricated by separation by implanted oxygen layer transfer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2010, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 163-168 Wei,X; Wu,AM; Wang,X; Li,XY; Ye,F; Chen,J; Chen,M; Zhang,B; Li,CL; Zhang,M; Wang,X 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  PSEUDO-MOS TRANSISTOR  BURIED OXIDE LAYERS  THERMAL-OXIDATION  WAFERS  SOI  FILM  SOICMOS   Ge预非晶化硅化物工艺的研究 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2002, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4,445_448 作者:  刘新宇;  孙海锋   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/05/25 Soicmos器件