机构

• 高能物理研究所 [2]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 石墨/Li(Ni_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3))O_2电池高温储存后的性能变化 期刊论文  OAI收割 电池, 2010, 期号: 06 李佳; 刘浩涵; 谢晓华; 娄豫皖 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/06 边缘效应  电化学腐蚀  机械应力  SU8光刻胶   微网气体探测器微结构SPACER的研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2009, 期号: 7, 页码: 419-423 作者:  侯凤杰;  伊福廷;  樊瑞睿;  张菊芳;  廖元勋 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/12/25 多丝正比室  微网气体探测器  SU8胶  干膜  丝网   利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文) 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2004, 期号: 1, 页码: 26-29 作者:  伊福廷;  缪鹏;  彭良强;  张菊芳;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/25 MEMS  SU8胶  微加工  背面曝光