机构

• 长春光学精密机械与物... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2003 [1]
• 2002 [1]
• 1999 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文  OAI收割 光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调   极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜   18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1999, 期号: 03, 页码: 14-18 王占山 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线多层膜  Schwarzschild物镜  带宽匹配